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質量檢測

14種潔淨室質量檢定專案及方法

潔淨度測試


檢測點₪✘:每9M2測1點或依NEBB建議點數面積×64 /(10M)0.5 ▩••◕▩。  

檢測高度₪✘:Probe取樣口高度110cm↟↟,詳左下Dwg-1 ▩••◕▩。    

檢測儀器₪✘:Particle Counter↟↟,需有固定支撐架↟↟,不得用手持▩••◕▩。       

檢測次數每ㄧ檢測點至少3次↟↟,1次1分鐘▩••◕▩。

驗收標準₪✘:As Built驗收標準為ISO 14644/Fed209E▩••◕▩。

※Owner特殊要求₪✘:As Built以1/10濃度標準驗收▩••◕▩。






FFU過濾器風速測試


檢測點₪✘:詳左下圖 Dwg-1▩╃、Dwg.2↟↟,每個 Ceiling Filter測3點取其平均值▩••◕▩。       

檢測儀器需有固定支撐架↟↟,不得用手持▩••◕▩。       

每ㄧ檢測點至少維持10秒▩••◕▩。

驗收標準₪✘:每ㄧ0.8VD≦VPn ≦ 1.2VD 即±20%內▩••◕▩。0.9VD≦VAVG ≦ 1.1VD即±10%內▩••◕▩。






FFU過濾器洩漏測試


測試前先將Return Air之Pre-Filter除去↟↟,並用Aerosol Generator產生100,000 pcs/ft3@0.2μm之Particles▩••◕▩。       

於無塵室風速檢測完成符合規範↟↟,溫溼度▩╃、正壓在穩定條件下檢測▩••◕▩。       

檢測點距離及方向詳左下圖 Dwg-1▩╃、Dwg.2 ▩••◕▩。

移動之速度小於5cm/sec ↟↟,每片4’ x 4’之Filter約5分鐘以上↟↟, 4’ x 2’之Filter約3分鐘以上▩••◕▩。

若不易檢測可四周以抗靜電PVC簾圍住↟↟,避免受周遭影響▩••◕▩。

驗收標準₪✘:於同ㄧ點內無連續洩漏量(0.1μm)

※Owner特殊要求₪✘:檢測未確實▩••◕▩。提供₪✘:2 x N2(Free)






潔淨室靜壓測試


檢測時機₪✘:必須完成Air flow velocity(風速)與氣密測試▩••◕▩。

檢測點₪✘:每ROOM對應測試ZONE(或室外)至少取1點測量▩••◕▩。

檢測儀器₪✘: 0~5mmAq / ±0.1刻度之微型壓差計或數字顯示壓差計▩••◕▩。

每ㄧ檢測點至少維持10秒▩••◕▩。

驗收標準₪✘:較設計規範值高0~20%▩••◕▩。






單向流測試


檢測點₪✘:每9M2測1點▩••◕▩。  

檢測儀器₪✘:以超音波3D風速計Ultrasonic Anemometer Probe或以固定架持entrance plane取filter下0.5m處↟↟,L取100CM之鉛垂與絲線↟↟,詳左下Dwg-1▩••◕▩。

每ㄧ檢測點至少靜置1分鐘▩••◕▩。

驗收標準₪✘:θ≦14






照度測試


檢測點₪✘:每20M2測1點▩••◕▩。  

檢測高度₪✘:Probe高度110cm↟↟,詳右下Dwg-1 ▩••◕▩。

檢測儀器₪✘:Illumination Meter照度計(符合JIS1609)需有固定支撐架↟↟,不得用手持▩••◕▩。       

檢測時機₪✘:確定燈光系統已運轉100Hr.後↟↟,檢測須於所有燈光開120Hr.後方能施測▩••◕▩。

驗收標準₪✘:符合規範要求▩••◕▩。







噪音測試


檢測點₪✘:每100M2測1點▩••◕▩。  

檢測高度₪✘:Probe高度120cm↟↟,離牆至少2M↟↟,詳下圖Dwg-1 ▩••◕▩。

檢測儀器₪✘:Sound Level Meter (Include Octave Band Analyzer)↟↟,需有固定支撐架↟↟,不得用手持▩••◕▩。       

檢測時間₪✘:確定廠務裝置已運轉至少24Hr. 後方能施測▩••◕▩。

檢測時間₪✘:至少5分鐘↟↟,取無工程進行時檢測資料↟↟,避免干擾▩••◕▩。

驗收標準₪✘:≦NC60▩••◕▩。






溫/溼度測試


檢測點₪✘:每9M2測1點▩••◕▩。  

檢測高度₪✘:Probe取樣高度110cm↟↟,詳左下Dwg-1 ▩••◕▩。    

檢測儀器₪✘:Temp./RH% Meter (精確度₪✘:±1℃/ ± 1%) ↟↟,需有固定支撐架↟↟,不得用手持▩••◕▩。       

檢測時間₪✘:每ㄧ檢測點至少連續1Hr.↟↟,且至少每6分鐘記錄1筆資料▩••◕▩。

檢測前乙方須提供詳細檢測方法供甲方確認之(介於As-Built與Operation兩階段之冷卻負荷狀況差異應列入考慮)

驗收標準₪✘:符合規範要求▩••◕▩。

※Owner特殊要求₪✘:As-Built時↟↟,檢測48Hr.之溫溼度連續監視資料






微震測試


檢測點₪✘:每個Wafer Slab至少測2點▩••◕▩。  

檢測高度₪✘:Slab地板面上▩••◕▩。    

檢測儀器₪✘:可檢測速度及位移之低頻可變波段震動儀器(0~200HZ)▩••◕▩。       

檢測時機₪✘:二次↟↟,ㄧ次於無塵室施工前↟↟,另ㄧ次於As-Built階段▩••◕▩。

驗收標準₪✘: As-Built階段之最終檢測值不得大於無塵室施工前之震動值▩••◕▩。

運轉裝置震動₪✘:依三階段Check List震動標準驗收▩••◕▩。

※微震動由業主委託之顧問檢測及提出建議改善報告▩••◕▩。






室內材料導電率測試


檢測材料₪✘:高架地板▩╃、無塵室隔間▩••◕▩。  

檢測點₪✘:檢測建材與地線之測量值↟↟,檢測點數1點/100M2;每ROOM 至少2點▩••◕▩。

檢測方式₪✘:阻值 ≦ 106MΩ→DC100V檢測電壓▩••◕▩。

檢測方式₪✘:阻值>106MΩ→DC500V檢測電壓▩••◕▩。

檢測儀器₪✘:高阻計Resistance Meter↟↟,檢測時C/R溫溼度已達穩定▩••◕▩。       

驗收標準₪✘:高架地板→104~106MΩ▩╃、無塵室隔間→106~108MΩ ▩╃、建材與地線≦100Ω▩••◕▩。






無塵車間恢復速度測試



檢測點₪✘:每150M2測1點▩••◕▩。  

檢測高度₪✘: 同Cleanliness↟↟,Probe取樣口高度110cm▩••◕▩。

檢測儀器₪✘:Aerosol Generator / Particle Counter▩••◕▩。       

檢測方式₪✘:以Aerosol Generator產生100倍無塵室等級規格之粒子數(或無塵室FFU停機待濃度上升)↟↟,然後以Particle Counter每分鐘量測一次↟↟,直至無塵室等級恢復設計值↟↟,記錄所需之時間▩••◕▩。

驗收標準₪✘:需於10分中內恢復無塵室等級▩••◕▩。






防靜電測試



檢測點₪✘:由Owner指定位置▩••◕▩。  

檢測高度₪✘:高度110cm (Ionizer Performance) ↟↟,物體表面靜電部份約離表面1英吋▩••◕▩。

檢測儀器₪✘:20pf electro static discharge monitor w/150 x 150mm panel需符合EOS/EOD標準S3.1-1991年版(Ionizer Performance)↟↟,環境物體表面靜電測試採靜電場測量器Electrostatic Field meter▩••◕▩。 

驗收標準₪✘:自±1000V至±100V放電時間為20~60秒▩••◕▩。(Ionizer Performance)↟↟,物體表面標準≦±35V▩••◕▩。






風機測試


1▩╃、準備事項₪✘:  

風機效能曲線圖▩••◕▩。

風管系統流程內之風門安裝位置及開關狀況檢查▩••◕▩。       

風管測試孔安裝位置確認 ▩••◕▩。

2▩╃、風機測試₪✘:  

風機吸入與吐出端全壓測試(如下Dwg-1)▩••◕▩。

風機單機總風量測試▩••◕▩。       

風機多臺並聯運轉↟↟,並聯後運轉曲線及運轉點量測 ▩••◕▩。

※變頻風機需量測卸除變頻數值▩••◕▩。

3▩╃、矩形風管測試孔位置及數量(如下Dwg-1▩╃、下Table-1) ₪✘:





4▩╃、圓形風管測試孔位置及數量(如下Dwg-3)₪✘: 

5▩╃、盤管/濾網測試點位置及數量(如下Dwg-4)₪✘:

6▩╃、風管格柵風口測試點位置及數量(如下Table-2)₪✘:



7▩╃、風速測試注意事項₪✘:





8▩╃、風量平衡調整測試₪✘:






過濾器的CFD壓力分析




測試工具

7種潔淨室品質測試工具

品質管理

9道品控專案↟↟,7大管理措施

材料品管₪✘:於裝置材料採購時↟↟,即應依製造批次提出材質證明及檢驗報告▩••◕▩。


工廠品管₪✘:裝置製作過程中↟↟,至製作工廠進行現場檢驗↟↟,如₪✘:元件品牌▩╃、組裝流程▩╃、作業質量▩╃、環境等▩••◕▩。


運輸品管₪✘:裝置管材在運送之前↟↟,應做好包裝及保護措施並於運送過程做好裝卸及堆疊安全措施▩••◕▩。


現場保管₪✘:裝置抵達現場應規劃堆置貯存區↟↟,並做好相關天氣狀況及潔淨度等防護措施▩••◕▩。


材料檢驗₪✘:現場根據規範要求及供應商提供的材料檢驗進廠材料▩••◕▩。


施工品管₪✘:安裝過程中↟↟,需要時填寫中間檢查表↟↟,隨時掌控相關組裝接合質量↟↟,如螺栓接合▩╃、焊接等▩••◕▩。


裝置檢驗₪✘:組裝完成的裝置(如配電櫃)須就外觀▩╃、連線點及其他相關技術需求進行檢驗▩••◕▩。


儀器校正₪✘:安裝完成的儀器須進行精確度校正↟↟,並做好相關銜接要求▩••◕▩。


作業程式品管₪✘:施工過程中須就相關裝置▩╃、儀器及管線進行程式安排並掌控相關進度▩••◕▩。



· 靜態管理₪✘:依業主規範實施人員▩╃、車輛▩╃、證件管理


· 動態管理₪✘:施工現場巡檢稽核查驗並予以紀錄處理


· 安全管理₪✘:協議組織↟↟,施工▩╃、吊裝▩╃、動火▩╃、特殊作業


· 環境衛生₪✘:6S稽核▩╃、環境衛生管理


· 警勤管理₪✘:證件管制辦理▩╃、進出廠管制


· 教育倡導₪✘:工具箱會議▩╃、教育訓練▩╃、倡導管制


· 人員管理₪✘:統一制施工背心▩╃、安全帽規範


驗收標準

13項無塵車間驗收標準



√₪✘:需保證

△₪✘:測試資料僅供參考

X ₪✘:不須保證

微震(Vibration)測試在無塵室建造前及建造完成後而製程裝置尚未移入之前進行(As-Built)機為無塵室建造前及建造完成後而製程裝置尚未移入前(As-Built)


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